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高档芯片需要微波设备?


而2025年,台积电的2nm芯片可能就会量产了,以是也就是说,2nm芯片的制造,除了EUV光刻外,可能还需要加一个微波设备了

芯片都是由晶体管组成的,好比的A16,有160亿个晶体管。而电流在晶体管内部,会从起始端(源极)流向终点(漏极)。

而电流流动过的历程中,会经由一个闸门(栅极),而栅极的宽度正是平时所说的芯片工艺,也就是XXnm,好比苹果A16就是4nm工艺,理论上栅极的宽度就是4nm。

而要提高芯片工艺,好比从4nm到3nm,再从3nm到2nm,就要缩短栅极的宽度。

而栅极的宽度小了,那么源极漏极间的距离就短了。这样造成的结果是源、漏南北极的电场对栅极发生滋扰,然后栅极对电流的控制能力大大下降,最后芯片不稳固,泄电,功耗增添,性能下降等等……

以前7nm、5nm、3nm时,这种情形还稍能够控制,从而不发生大的影响,但到2nm时,就没法控制了,必须有进一步手艺革新才行。

怎样在缩短栅极宽度的同时,还淘汰源、漏南北极的电场对栅极的滋扰?那就是要改变质料的特征了,使栅极更稳固。

之前芯片厂商,已经试过许多措施,好比在芯片质料中掺杂磷原子,然后再对这个混淆物举行加热退火,提高磷原子平衡浓度,激活活性,提高导电性能。

但现在这项手艺也遇到了一些难题,通俗的掺杂工艺不行,磷原子的平衡浓度不够高,达不到要求,而且在举行加热退火处置惩罚时,还可能会导致晶体管膨胀。

于是克日,康奈尔大学的研究职员提出了一种新的提高磷的平衡浓度的要领:微波工艺。

在试验的历程中,研究职员把掺杂磷原子的芯片,放到革新后的家中微波炉中举行测试,发现微波工艺,可以使得芯片质料中的掺杂原子被激活,还不会泛起晶体管膨胀的状态。

现在康奈尔大学的James Hwang与博士后詹卢卡 ・ 法比(Gianluca Fabi)配合申请了微波退火器的两项专利,同时相关论文已揭晓于 Applied Physics Letters。

研究职员展望,这一项手艺在2025年就会应用于芯片制造上。

而2025年,台积电的2nm芯片可能就会量产了,以是也就是说,2nm芯片的制造,除了EUV光刻外,可能还需要加一个微波设备了。

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